半导体制造：精密工艺背后的环保挑战

半导体是现代科技的基石，其制造过程涉及众多高纯度的特殊气体和化学品。这些物质在完成精密蚀刻、沉积、掺杂等工艺后产生的尾气，往往具有剧毒、强腐蚀性、易燃易爆或强温室效应（如含氟气体SF₆, NF₃等）。直接排放不仅严重违反全球日益严苛的环保法规，更对人员安全、设备运行和环境可持续性构成重大威胁。

尾气净化：半导体工厂不可或缺的“安全阀”与“环保盾”

高效、可靠的尾气净化系统是半导体工厂安全、合规、绿色运营的核心保障。

其核心价值在于：

1.  严守法规红线：确保排放满足全球最严格的大气污染物（PFCs、HAPs、VOCs、酸性气体等）排放标准，规避环境风险与处罚。

2.  筑牢安全屏障：消除有毒、易燃易爆气体泄漏或累积风险，保护生产人员生命健康与工厂资产安全。

3.  践行绿色责任：显著减少强温室气体（PFCs）排放，助力半导体产业实现碳中和目标，提升企业ESG表现。

4.  保障工艺稳定：部分工艺（如Local Scrubber）需紧贴制程设备，要求净化系统具备极高的可靠性、稳定性和快速响应能力，不影响良率。

应对复杂尾气的核心技术

针对半导体尾气的多样性与高危险性，需采用定制化组合技术

高温氧化/燃烧技术：彻底分解可燃性、有毒气体（如硅烷SiH₄、氢气H₂、磷烷PH₃等），效率高达99%以上，是处理高热值、高浓度气体的基石。

高效水洗式洗涤技术：专攻酸性气体（HF, HCl, Cl₂等）和碱性气体（NH₃），通过化学吸收实现高效去除，是工艺尾气处理的常用单元。

先进干式吸附技术： 适用于特定气体成分（如氟化物、VOCs），利用特殊吸附剂实现深度净化，维护相对简便。

创新等离子体/催化技术：在处理难分解的强温室气体（如PFCs）方面展现潜力，致力于更低能耗、更高效率的解决方案。

选择专业伙伴，驾驭净化挑战

半导体尾气净化是技术密集型领域，对系统设计、核心设备性能、工程实施及持续服务有着极高要求。常州诚鉺正环保技术有限公司深耕行业多年，致力于为全球半导体客户提供：

领先的核心技术： 掌握高效燃烧、深度洗涤、先进吸附等关键技术，确保处理效率与可靠性达到业界顶尖水平。

卓越的工程能力：深刻理解Fab环境与工艺需求，保障系统无缝集成、稳定运行。

全球化服务网络：提供快速响应的安装、调试、维护与备件支持，最大化客户设备生命周期价值。

共同携手常州诚鉺正环保技术有限公司，共筑安全、绿色、高效的半导体制造未来！